無塵手套的測試標準及方法

由于高科技產品的精度越來越高，愈來愈多的產品被要求在相對潔凈的無塵室中生產、包裝、測試，如電腦的磁頭、硬盤、LCD、數碼像機、光學電子等行業。在這些行業中，會使用到大量的無塵室專用無塵手套用于保護產品、人員、環境等。從污染的角度理解，人被視為潔凈室內*大的污染物發生源，操作人員通過穿上特殊的服裝防護系統來保護潔凈室環境，無塵手套作為這種服裝系統的重要組成部分，不但具有充分的防護作用，同時不會污染受控環境中生產工藝的關鍵區域，所以手套的作用很關鍵。IEST-RP-005.3主要就手套的原料、生產、包裝、測試等做了詳細的規定。 

到底該選用何種手套在無塵室中使用，IEST沒有明確的規定，但是建議從產品的精度、無塵室的級別、成本核算等方面綜合考慮。一般來說，如果是ISO 5級或以上的無塵室，建議使用丁腈橡膠手套；如果是生產晶圓、磁頭、硬盤、光學儀器等應使用丁腈橡膠手套。  

由于手套多數時候是和產品直接接觸的，所以對其品質要**非常嚴格的，IEST標準要求對生產后的手套，在使用前必須進行清洗以及測試合格后方可使用。測試主要分四部分：外觀檢查、物理測試、ESD性能測試、化學測試。下面主要介紹一下化學方面的測試。 

要做化學測試，首先需要專門的儀器、環境、水源、輔助系統等支持，即需要建造一個實驗室。這是一筆相當大的開支，多數企業不會選擇自己做測試，選用專門的有資格的實驗室測試是一個好的辦法，不過需要付出一定的測試費用。 

由于對產品的影響多是微觀因素，即一些肉眼看不見的塵粒子、微生物等，所以測試手套也是從微觀方面做出分析： 

1．LPC測試(液態塵粒測試)：LPC測試是將被測物浸泡于DI水中，再進行1分鐘的超聲波震蕩，將附著在被測物上的塵粒溶解于DI水中，然后計算DI水中液態塵粒的數量的方法。該測試是檢查手套潔凈度的一種重要測試方法，主要看手套會跌落多少對產品有影響的塵粒，如磁頭行業，對于大于或等于0.5um的塵粒，不能超過3000個每平方厘米（@0.5um<=3000counts/cm^2）。 

2．NVR(非揮發性殘留物)測試：是測試手套上非揮發性殘留物含量的一種測試方法，測試時，用一定量的溶劑對被測試部位進行淋洗或浸泡，收集淋洗或浸泡后的溶液使溶劑揮發，用微量天平稱量殘留物，即可得出手套上非揮發性殘留物的含量.NVR超標可知手套表面有非揮發性殘留物污染。在電腦硬盤行業，一般規定NVR<20ug/cm^2。 

3．FTIR（傅立葉紅外線光譜）測試：由于產品的要求，無塵室不允許有硅油、氨基化合物、DOP等物質存在，因為該些物質會影響到產品的質量。因此，對手套必須進行FTIR測試。測試時，用一定量的溶劑對被測試部位進行淋洗或浸泡，收集淋洗或浸泡后的溶液使溶劑揮發，將殘留物作紅外線光譜分析。這種方法可以分析出手套上是否殘留有硅油、氨基化合物、DOP等。（注意：該測試的結果如果合格，則表示上述三種殘留物沒有超過敏感線，并不表示完全沒有）。 

4．IC（離子測試）：是將被測物浸泡于DI水中，再進行超聲波震蕩，將附著在被測物上的無機陰陽離子溶解于DI水中，然后再進行色譜分析的方法。IC測試可測出被測物上陰陽離子的種類，及每種離子的含量。該測試*常監控的離子是Cl-、NO3-、SO4-、PO4-等，一般總重量不能超過1.0(Total<1.0)。 

5．GC（有機揮發物色譜測試）：是用來分析手套上有機污染物的種類和含量的一種方法。測試時，將手套加溫到一定溫度，使有機污染物揮發,將揮發出來的氣體收集起來，進行色譜分析，可得出有機污染物的種類和含量，當GC測試超標時，說明手套上的有機污染物超標。一般在磁頭行業其標準控制在10ug/g(Total：GC<10ug/g)。 

以上測試是行業中*常規的幾種測試，同時IEST還規定了如硫化氫測試、耐腐蝕測試、灰燼測試等，企業可以根據產品的需要做出適當的選擇。